目的采用环保抛光工艺提高304不锈钢表面抛光质量。方法基于化学机械抛光（CMP）工艺，使用主要由氧化铝（Al2O3）磨料、L－苹果酸、过氧化氢（H2O2）、乳化剂OP－10和甘氨酸组成的绿色抛光液，设计并测试pH值、H2O2、乳化剂OP－10和甘氨酸的四因素四水平CMP质量分数正交试验，用极差法分析了四个因素对表面粗糙度（Ra）和去除率（MRR）的影响。以电化学工作站和动电位为例，分析了304不锈钢在不同环境下的静态腐蚀特性。通过X射线光电子能谱（XPS），分析了304不锈钢在不同抛光液环境中表面元素和化学成分的变化。结果研制出一种无强酸、强碱等危险化学品的新型环保型化学机械抛光液。通过绿色CMP加工，304不锈钢从CMP之前的7.972nm减少到7050m2内的0.543nm。与之前报道的304不锈钢抛光相比，绿色CMP抛光后的表面粗糙度是最低的。通过正交试验，得到了适合绿色CMP加工的最佳抛光液：pH=3，0.3wt.%H2O2，0.3wt.%乳化剂OP－10和1.5wt.%甘氨酸。结论XPS和电化学的分析表明，L－苹果酸和甘氨酸之间的相互促进增强了抛光液的腐蚀性，而H2O2则具有相反的作用，它可以增强抛光液的氧化，减缓抛光液对304不锈钢表面的腐蚀。