通过分析速度控制模式下雕刻机系统输入角速度与输出位置之间的机理关系，采用积分因子和稳定模型对系统进行了仿真。通过引入微分滤波器对采样数据进行处理，将难以辨识的临界不稳定积分模型转化为易于辨识的稳定模型。本文提出了一种能准确估计积分因子的递推最小二乘算法。辅助变量法用于消除有色噪声因过滤而产生的影响。该算法能保证开环状态下积分系统的精确估计。针对多轴雕刻机，提出了一种基于中间观测器的容错跟踪控制算法。针对过程故障与输入通道的匹配问题，设计了基于故障估计的容错控制反馈率，以实现有效补偿。对于不匹配故障，调整中间观测器的增益以完全抑制它们。最后，通过与现有算法的对比实验，验证了该算法的可行性和优越性。