以微波等离子体CVD法合成金刚石现场设备的数据采集与通信为研究内容，设计了基于Modbus／TCP协议和RS－485通信协议的数据采集与通信系统。该系统以西门子S7-1200plc为控制核心，以GMP、G4、质量流量计、FC和ST1000等国的微波发生器为硬件核心。通过分析Modbus/TCP协议的消息结构和RS－485通信协议的数据，在西门子TIA　portal软件中设计了该程序，实现PLC与微波电源和质量流量计之间的数据采集和通信。现场运行表明，该系统稳定可靠，能够满足设计要求。