为了进一步提高结构表面光学元件的抗激光损伤能力，建立了1064nm脉冲激光辐照熔融石英周期性多孔表面的数值分析模型。计算了不同脉冲和结构参数下周期表面的温度场分布和热应力场分布，研究了激光辐照熔融相变前的热力学过程。结果表明，多孔周期结构表面的最大热致应力不依赖于其最高温度。熔融石英周期结构表面的激光损伤性能不仅与激光脉冲宽度有关，还与其自身的结构参数有关。考虑到特定的光学特性，可以通过优化结构参数来调整光学元件在周期结构表面的热场分布和热应力场分布，从而进一步提高这种光学元件的抗激光损伤能力。