近年来，我国集成电路产业发展迅速，产业规模大幅提升，企业大规模集聚特色产业园区。集成电路的生产过程涉及多种化学品，它们会产生各种有毒有害气体。运营期间持续的废气排放将对区域环境产生影响。做好集成电路项目大气环境影响评价是项目建设环保可行性的重要依据。从环境评价的编制类型、工艺废气的产生、废气排放标准、废气处理措施、废气排放与管理、评价结论六个方面阐述了集成电路制造业大气环境影响评价。同时，探讨了集成电路行业环境影响评价中应注意的问题，为环境影响评价的实施者和审批者提供参考。